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扩散硅压力传感器原理及应用
  • 发布日期：2010-12-01      浏览次数：3407
      • 扩散硅压力传感器原理及应用
      　　被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷）， 使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
        

      扩散硅压力传感器原理及应用原理图

      [1]
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